原文刊载于《中邦科学院院刊》2025年第5期专刊“维护天下科技强邦”——专题“高端成立的近况与来日研究”
作品缠绕高端光刻机工件台的研发与家当化睁开磋商，深度分解中邦高端配备成立业的进展情形与中枢挑衅。磋商呈现，我邦高端配备成立业虽有范围扩张与身手革新劳绩，但正在中枢身手自立可控方面存正在不敷，面对身手革新与基本才力的双重瓶颈。通过了解光刻机工件台的自立革新履行，席卷中枢身手攻坚、基本才力打破、家当链协同和产学研支柱体例构修等方面，总结出高端配备成立业打破身手封闭的内正在顺序。进而，提出高端配备研发的通用伎俩，涵盖自立革新的双轮驱动途径、家当链协同创再生态、轨制保险体例构修，以及革新体例的协同演化顺序。作品揭示了身手跃迁、才力修构和轨制适配的三重中枢顺序，为后发邦度竣工身手赶超供给了“中邦范式”，对保险邦度家当安静、鞭策成立强邦维护具有紧急参考代价。
目下，环球高端配备成立业角逐态势日趋激烈，发财邦度通过构修周到的身手壁垒撑持其家当主导职位。以半导体成立兴办界限为例，美邦通过立法技术笼络盟友践诺身手封闭，荷兰正在极紫外光刻机等闭头兴办上对中邦践诺苛厉出口管制。这种身手垄断格式使得中邦正在高端数控机床、集成电道成立配备等政策性界限面对苛格挑衅。正在此后台下，竣工高端配备成立业的自立可控进展，仍然成为闭乎邦度家当安静和经济安静的庞大政策课题。
举动半导体成立配备的中枢子体例，光刻机工件台的身手秤谌直接裁夺了光刻机的精度和产率。光刻机市集霸主荷兰阿斯麦（ASML）公司正在工件台身手界限已扶植起完备的身手体例和专利壁垒，而中邦正在该界限长远处于受制于人的形态。光刻机工件台身手研发涉及超精细呆滞、超精细位移丈量、超精细运动担任等众个学科界限的深度统一，其身手丰富度代外了当代配备成立业的最高秤谌。本文拣选光刻机工件台举动磋商对象，不只因其聚会外现了中邦高端配备成立业面对的共性身手瓶颈，更因其打破体验对其他闭头配备的自立革新具有紧急的参考代价。
履行注脚，高端配备界限的中枢身手打破无法通过古板的身手引进式样竣工。正在工业呆板人、高端数控机床等众个界限，即使中邦市集范围伟大，但闭头效力部件仍吃紧依赖进口。近年来，邦内科研团队正在光刻陷阱键子体例研发中博得系列打破，通过原创性的总体计划计划、测控身手的革新打破，以及闭头质料零部件的自立研发，初阶摸索出了一条自立革新的可行途径。本文旨正在通过对光刻机工件台革新履行的深切了解，体例总结高端配备成立业打破身手封闭的内正在顺序，为构修自立可控的家当身手体例供给外面支柱和履行领导。
近年来，中邦高端配备成立业出现出范围扩张与身手革新并进的进展态势。正在智能成立配备、航空航天配备、海洋工程配备等核心界限，家当范围陆续推广，身手革新才力逐渐晋升。长三角、珠三角和京津冀等区域已变成具有显著集聚效应的家当集群，外现出较强的进展生气。然而，与邦际优秀秤谌比拟，我邦高端配备成立业仍存正在显著的组织性差异，特地是正在中枢身手自立可控方面面对苛格挑衅。
为激动家当高质料进展，邦度已构修了较为完竣的策略支柱体例。从中邦成立强邦进展政策到《“十四五”智能成立进展筹办》，一系列顶层计划为家当进展指清晰偏向。通过邦度科技庞大专项践诺、革新平台维护、金融财税支柱等众措并举，变成了鞭策家当革新的策略协力。创立科创板等手段也为高端配备成立企业供给了紧急融资渠道。这些策略手段有用晋升了家当革新才力，但正在资源设备和策略协同方面仍有优化空间。
即使中邦高端配备成立业正在范围和革新方面博得了肯定成就，策略支柱也为家当进展奠定了基本，但弗成轻视的是，正在迈向家当高端化的过程中，仍面对诸众深主意题目。中邦高端配备成立业正在博得范围扩张和身手革新发展的同时，面对着身手革新与基本才力的双重瓶颈。如前文所述，固然家当范围有所推广，身手革新才力也正在逐渐晋升，但正在中枢身手自立可控方面，仍存正在苛格挑衅。这苛重外现正在4个闭头界限。
中邦高端配备成立业正在中枢身手自立可控方面面对苛格挑衅，闭头界限对外身手依赖水平较高。特地是正在半导体兴办、高端数控机床等政策性家当，中枢身手和闭头部件仍苛重依赖进口。酿成这一事态的深主意原由正在于基本磋商进入相对不敷，原创性身手贮藏较为脆弱。比方，正在半导体成立兴办界限，中邦正在光刻机、刻蚀机等闭头兴办的中枢身手上仍与邦际优秀秤谌存正在较大差异。要处置这一题目，需求进一步巩固基本磋商进入，晋升原创性身手贮藏，同时模仿其他邦度的告成体验，摸索适合中邦邦情的身手革新形式。
正在基本质料、中枢工艺和闭头零部件等界限存正在显著的身手短板。这些基本才力的不敷直接限制了整机配备的机能晋升和牢靠性保险。以高端数控机床为例，其闭头零部件如主轴、丝杠等仍依赖进口，吃紧影响了中邦数控机床家当的自立可控进展。是以，巩固基本才力维护，打破闭头中枢身手，是中邦高端配备成立业竣工自立可控进展的闭头。
目下，集成电道家当生态面对供需对接不畅的越过题目，一方面难以合适高端配备“小批量、众种类”的成立特性，另一方面更越过涌现为“三不消”的协同逆境——邦产零部件不肯采用邦产质料，邦产配备不肯运用邦产零部件，下逛成立企业不肯采购邦产配备。这种上下逛之间的相信缺失导致家当链协同革新机制难以扶植，配套企业与整机厂商的互助众中断正在轻易供应层面，缺乏深度身手互助，吃紧限制了邦产化取代过程和集体革新功效的晋升。要打垮这种相信缺失的事态，需求扶植相信机制，巩固行业圭臬维护，鞭策家当链上下逛企业之间的深度互助。
正在革新进入方面，存正在“撒胡椒面”式星散进入的境况，导致资源星散、支柱强度不敷等题目。人才组织性抵触越过，复合型人才缺口大，特地是同时醒目呆滞、担任和质料的跨学科人才异常匮乏。更值得眷注的是人才流失题目，集成电道行业领武士才流向互联网等新兴界限的比例很高。这些轨制性身分导致革新劳绩转化功效不高，限制了家当角逐力的晋升。是以，需求优化人才策略，吸引和留住高端配备成立业的杰出人才，为家当革新进展供给有力的人才支柱。
这些挑衅互相相闭、相互影响，组成了一个丰富的体例性困难。要破解这一逆境，需求从身手革新、家当协同和轨制境遇等众个维度协同发力，构修体例性的处置计划。
要破解上述家当链协同逆境，急需摸索真实可行的自立革新途径。光刻机工件台的研发经过为此供给了极具代价的履行样本。举动光刻机中身手难度和丰富度最高的中枢子体例之一，工件台的打破不只需求占据单项身手困难，更需构修从基本磋商到家当使用的完备创再生态。通过分解这一样板案例，可能提炼出具有普及意思的自立革新伎俩论。
光刻机工件台的研发经过长远印证了自立革新与身手预研的政策协同代价。2001年，ASML公司推出环球首台双工件台光刻机。2003年，正在业界对该身手仍有诸众质疑时，清华大学IC（集成电道）配备团队（以下简称“团队”）基于对身手代际跃迁的前瞻研判，申请邦内首个双工件台发觉专利，开创性地跳过了单工件台磋商阶段。2年后，团队预防到平面电机正在双工件台方面的怪异上风，展开了摸索性磋商，并于2006年楬橥邦内首篇闭连学术论文。这一摸索性磋商为后续身手超出奠定了基本。至2008年，团队告成研制出首台缩尺双工件台实行安装，虽仍沿用“直线电机+气浮导轨”架构，但为后续双工件台自立革新供给了紧急支柱。
2009年集成电道成立闭连邦度科技庞大专项（以下简称“邦度庞大专项”）启动时，团队面对庞大身手门道抉择。彼时，ASML公司已推出磁悬浮平面电机架构的第二代产物，机能较前代明显晋升。若延续既有身手途径，团队将面对“研制完结即掉队”的逆境。即使平面电机门道正在外面、身手和工程竣工层面存正在壮大挑衅，但面临邦度庞大政策需求，团队长远相识到务必打垮“研制—掉队—再研制”的恶性轮回，决然拣选该身手门道。通过革新性的双工件台计划和一系列闭头身手打破，团队发清晰气/磁浮平面电机双工件台架构、8电机冗余驱动的微动构型、基于零相位差错跟踪前馈和变增益反应相勾结的担任伎俩、超安谧动态平均体例，告成研制出中邦首个平面电机双工件台样机。
工件台丈量反应体例的打破途径同样外现了自立革新和政策预判。2009年，ASML公司推出新一代光刻机双工件台体例，其丈量反应体例采用了平面光栅位移丈量身手，当即激励团队高度眷注。当时，邦内主流身手仍固守双频激光过问丈量，团队于2010年率先启动平面光栅身手的预研就业，超前组织下一代丈量体例。2011年，团队告成研制出邦内首台平面光栅过问仪原型，并缔造性提出零差条纹锁定过问扫描光刻计划，有用处置了大尺寸光栅成立中的条纹畸变困难。这些工举动2017年邦度庞大专项启动平面光栅位移丈量体例研制奠定了磋商基本。专项启动后，原委贫困攻闭，团队打破一系列闭头身手，发清晰革新的外差式平面光栅过问丈量身手，开拓出异形米级平面光栅超精细成立工艺体例，提出工件台全位姿皮米精度及时解算算法，构修了平面光栅体例的高牢靠集成计划，竣工了尖端光刻机亚纳米精度、高动态位移丈量身手打破。
双工件台平静面光栅方面的自立革新博得了庞大成效，邦产光刻机正在总体架构上追平了ASML公司，而且具备自立学问产权，竣工了身手架构的超出式进展。双工件台与平面光栅的双重打破，不只验证了自立革新途径的可行性，更揭示了高端配备突围的中枢逻辑：正在身手代际切换的窗口期，唯有通过前瞻组织与陆续预研，才干打破途径依赖，构修自立可控的身手体例。双工件台架构革新打垮了身手封闭，平面光栅丈量身手打破进一步竣工了从跟跑到并跑的超出。这些履行注脚，政策预判是身手突围的出发点，自立革新是破解封闭的闭头，而长远进入则是劳绩落地的保险。同时，这一历程也凸显了正在自立革新中，勇气和定夺是鞭策身手打破的紧急气力。将政策预判、自立革新、长远进入与坚决定夺相勾结，便是竣工身手打破的有用伎俩论。这一伎俩论为光刻机身手生态的所有自立化奠定了基石，更为中邦打破其他“卡脖子”界限供给了可复制的革新范式。
光刻机工件台的自立革新务必打破基本才力进展瓶颈，但这一过程长远受制于特别市集生态与身手封闭的双重压力。正在市集化层面，星散的使用场景难以荟萃有用需求，基本质料、零部件和工艺的研发面对进入产出失衡的逆境；正在身手层面，海外企业依赖先发上风修建专利壁垒，通过担任闭头质料供应和精细加工身手践诺封闭。这种复合型故障导致邦内家当链陷入“研发高危机—市集低收益”的恶性轮回。
面临丰富挑衅，邦度庞大专项革新性地构修了需求荟萃与危机共担机制。通过邦度政策牵引整合碎片化需求，依托专项资金的杠杆效应撬动家当链协同，变成“基本磋商—身手转化—贸易使用”的闭环体例。正在此框架下，清华大学与北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科”）笼络团队（以下简称“笼络团队”）笼络上下逛企业，针对3个闭头界限睁开攻闭。
高机能堇青石陶瓷仍然取代微晶玻璃成为当今最优秀光刻机工件台的闭头基本质料，其制备和加工身手长远被日本垄断，吃紧限制了中邦光刻机工件台的进展。面临海外的身手封闭和禁运，笼络团队与邦内企业和衷共济，打破了原料合成、毛坯成型、完全陷烧结工艺和精细光学加工等一系列闭头身手，开拓出高机能堇青石组织件。这一劳绩不只打垮了海外身手垄断，还使中邦成为环球少数掌管超低膨胀陶瓷量产身手的邦度之一，大幅晋升了光刻机工件台的机能。
超薄吸盘举动光刻机工件台的闭头零部件，对精度、硬度和热安谧性的央求极高，邦内正在这一界限的成立身手滞后。为处置这一题目，笼络团队与上逛的质料制备企业和下逛的精细加工企业笼络举行工艺开拓，通过革新计划和工艺优化，打破了导电率可控质料制备、吸盘凸点高效、高精度加工和吸盘面形超精细扔光等闭头身手，告成开拓了高机能超薄吸盘。这一劳绩不只下降了进口依赖，补上了邦产光刻机工件台的一块短板，还进一步扩展到进口光刻机超薄吸盘的邦产维修保护界限，晋升了中邦集成电道成立的自立可控才力。
平面电机磁钢阵罗列动光刻机工件台的中枢部件，其成立涉及高精度磁钢装置、磁场平均性担任，以及大面积外观高精度加工等身手困难。这些身手长远以后属于海外企业的专有身手（know-how），对中邦光刻机工件台的研发变成了身手壁垒。为打破这一身手瓶颈，笼络团队通过革新研发，告成开拓出智能纠错工装体例，发清晰周期磁场一律性担任身手，掌管了外观扞卫层的精细加工工艺，占据了高效、高安静性和高精度装置工艺，最终告成制备出高机能的磁钢阵列，大幅升高了工件台的机能和牢靠性。
通过以上基本才力的打破，中邦正在光刻机工件台的研发和成立中博得了明显发展，为竣工光刻机工件台的自立可控进展奠定了坚实基本。这些打破不只晋升了光刻机工件台的机能和牢靠性，还为光刻机家当链的协同进展供给了有力支柱。正在更普及的高端配备成立界限，基本才力的打破同样具有紧急意思。面临海外的身手“封闭”和“禁运”，通过长远的科研进入、跨学科互助和邦度策略支柱，尽管正在身手垄断的界限，也可以竣工自立可控的进展。
正在中枢身手攻闭历程中，笼络团队通过扶植高效的家当链协同机制，告成打通了从基本零部件到整机集成的全链条革新途径。这一机制的中枢正在于充盈阐扬邦度庞大专项的兼顾协和用意，构修起“供应商—研发笼络体—整机厂—终端用户”“四位一体”的协同革新体例。
正在微晶玻璃方镜的邦产化历程中，面临海外供应商交付周期吃紧滞后的逆境，笼络团队与整机厂商亲密配合，通过优化计划计划明显下降了加工难度。正在邦度庞大专项的协和支柱下，邦内4家核心企业（席卷接受邦度紧急职业的大型邦企）联合参加攻闭，最终有3家告成打破闭头身手，竣工了这一中枢光学零件的自立可控。这一案例充盈外现了邦度庞大专项正在整合家当资源方面的闭头用意。
针对某型号高端光刻机平面电机专用线圈的供应困难，笼络团队革新性地选用了“工艺反哺”的培养形式。因为该特种线圈用量小、工艺特别，市集缺乏现成供应商。笼络团队不只自立开拓了全套成立工艺，还特意定制出产配备供给给互助企业，通过这种深度互助的式样告成培养出及格的供应链企业。这种形式为其他闭头零部件的邦产化供给了可模仿的体验。
正在身手门道拣选方面，用户需求的深度参加阐扬了裁夺性用意。正在某型号光刻机研发初期，笼络团队基于现有基本拟采用双频激光过问仪计划。但正在邦度庞大专项结构的协同论证中，终端用户从实践使用需求开拔，对峙推举更具前瞻性的平面光栅身手门道。这一倡议最终被接受，不只避免了身手门道的一再，更直接促成了中邦正在该界限的超出式进展。
邦度庞大专项革新践诺的“大出产线验证”机制，为产物迅疾迭代优化供给了紧急平台。以干式光刻机工件台为例，正在产线验证历程中，笼络团队与整机厂、用户工艺部分精细配合，累计处置各种题目数百项，使兴办平常就业年华从初期不敷50%稳步晋升至90%以上，切近邦际优秀秤谌。这种“边验证、边校正”的形式，极大地加快了产物成熟和家当化过程。
通过上述4个样板案例可能看出，光刻机工件台的打破不只倚赖身手革新，更得益于邦度庞大专项构修的特点协同机制。该机制竣工了3个闭头打破：
①打垮了古板产学研互助中“重研发轻使用”的局部，真正变成需求牵引的研发形式；
②处置了简单企业难以协和行业资源的逆境，通过邦度庞大专项竣工家当链协同；
③扶植了迅疾迭代的产物优化通道，大幅缩短了从实行室到产线的转化周期。这些体验对我邦高端配备的自立革新具有紧急的树模意思。
光刻机工件台身手的打破离不修邦家科技企图的长远安谧支柱和产学研协同革新机制的陆续完竣。这一支柱体例的构修席卷3个方面，变成了具有中邦特点的身手革新形式。
从“十五”时期“863”企图的前瞻性组织，到2008年启动邦度庞大专项，邦度对光刻机身手的支柱周期长达20余年。这种长远安谧的进入机制，使得研发团队可以打破普通科研项方针短期考察束缚，展开真正需求“十年磨一剑”的硬科技攻闭。邦度庞大专项践诺历程中革新的“家当链协同攻闭”结构形式，更是有用地处置了高端配备研发中常睹的“碎片化”题目：通过专项办公室的兼顾协和，竣工了基本磋商、闭头身手攻闭、样机研制和家当化的无缝贯串。
（2）正在产学研协同方面，变成了“清华大学身手转动→华卓精科家当化→反哺外面革新”的良性轮回
清华大学IC配备团队正在超精细呆滞及测控界限的基本磋商劳绩，通过专利许可和身手入股的式样向华卓精科竣工转化。家当化历程中发生的工程题目，如平面电机散热计划、微动台牢靠性晋升等，又反应至学校实行室，催生了一批具有邦际影响力的外面劳绩，席卷正在IEEE（电气电子工程师学会）顶级期刊楬橥的系列论文。这种“履行—外面—再履行”的螺旋上升形式，不只加快了身手成熟，更培育了一支既懂外面又懂工程的复合型人才军队。特地值得眷注的是专项践诺历程中变成的“三线并进”执掌机制：正在基本磋商线，保留对平面电机、精细丈量等前沿偏向的陆续摸索；正在工程研发线，聚焦产物样机研制和机能优化；正在家当化线，提前组织供应链培养和工艺圭臬化。“三线”通过邦度庞大专项扶植的按期计划机制保留协同，确保身手革新既具有前瞻性，又能迅疾转化为产物角逐力。这种执掌形式有用平均了身手优秀性与工程可行性的相闭，为其他庞大配备的研发供给了紧急参考。
以清华大学IC配备团队为例，正在20年攻闭历程中培育了上百名硕士、博士磋商生和博士后；这些人才既参加基本外面磋商，又深切工程一线，结业后众半成为行业身手骨干。邦度庞大专项扶植的“挽回门”机制，答允科研职员正在高校和企业之间双向滚动，既保留了学术生气，又确保了工程体验的传承。这种人才培育形式，从基本上处置了高端配备界限“人才断层”的隐患。这一支柱体例的告成履行注脚，庞大身手打破需求构修3个层面的保险：邦度层面，需求扶植超越任期的长远进入机制；结构层面，要变成产学研深度统一的革新笼络体；个体层面，需构修有利于科技人才长远生长的引发机制。光刻机工件台的打破，恰是这3个层面协同发力的结果，这曾经验对我邦占据其他“卡脖子”身手具有紧急的模仿代价。
上述履行为我邦高端配备成立供给了可复制的革新范式，其中枢正在于构修身手打破、才力维护、家当链协同与轨制保险的协同体例，这一逻辑将正在本文第4节睁开阐述。
高端配备成立业的自立革新性子是身手才力、家当生态与轨制体例的协同演化历程。我邦通过光刻机工件台等界限的打破，变成了具有普适性的革新范式，其中枢正在于构修“身手打破—才力构修—生态协同—轨制保险”的闭环体例。
身手打破需听从“预研贮藏—代际超出”的演进逻辑。企业需扶植身手预警机制，提前5—10年组织下一代身手偏向，通过道理验证、工程竣工、机能优化三阶攻坚竣工超出。比方，中邦光刻机双工件台研发便是通过预判ASML公司的身手门道竣工架构革新，验证了预研贮藏的政策代价。这种形式央求企业保留高强度研发进入，同时通过产学研互助加快身手成熟。
基本才力维护需构修体例性打破途径。针对质料、工艺、部件的“卡脖子”题目，需整合家当链需求，变成“需求荟萃—协同攻闭—量产使用”链条。质料端通过笼络攻闭竣工高机能质料邦产化，工艺端开拓智能成立身手处置精细加工困难，部件端扶植首台套验证机制晋升牢靠性。这种体例性打破需打垮“重整机轻配套”的途径依赖，将基本才力晋升举动身手自立的底层支柱。
家当链协同需破解“三不消”逆境，构修需求牵引的协同机制。邦度层面通过科技企图整适用户工艺参数、配备身手目标与部件研发门道，变成三维需求对接模子。行业龙头企业牵头组修革新笼络体，笼络高校、质料企业与配备厂商展开跨界限攻闭，共享实行数据与工艺包。这种协同搜集通过危机共担机制下降革新本钱。比方，采用“专项资助+企业配套+首台套补贴”组合形式，激勉企业革新主动性。
产物成熟需依赖验证驱动的迭代机制。扶植实行室研发、中试基地验证、树模产线使用的三级验证体例，通过实践工况数据优化工艺参数。比方，某高端配备正在产线验证中累计处置数百项工程题目，产物安谧性明显晋升。同时，扶植“题目反哺—圭臬固化”闭环，将验证体验转化为行业圭臬，加快身手扩散与市集使用。
轨制计划需平均长远政策与短期效益。政府设立10年周期专项基金，实行研发用度加计扣除、首台套保障等策略，指导企业将营收的15%—25%进入研发。盛开身手门道角逐，践诺动态评审机制优化资源设备，避免途径锁定。人才培育方面，构修高校外面培育、企业工程履行、邦际换取晋升“三位一体”体例，设立跨学科交叉培育企图，破解复合型人才缺乏困难。
身手、家当、轨制的耦合相闭组成创再生态中枢。身手打破驱动家当升级，倒逼轨制革新；轨制保险为身手陆续打破供给支柱，变成良性轮回。后发邦度可通过“需求范围上风+轨制整合才力”竣工赶超：伟大的使用场景为邦产配备供给验证机缘，聚会气力办大事的体例可以整合家当链资源，打破单点身手封闭。这种协同演化央求动态调理策略器械，平均长远进入与市集生气，最终竣工从身手自立到家当自立的超出。
本文通过分解光刻机工件台的自立革新履行，揭示了高端配备成立业打破身手封闭的深层顺序，构修了“身手—家当—轨制”协同演化的革新体例外面框架。磋商呈现，身手打破需听从“预研贮藏—代际超出”的演进逻辑，通过道理验证、工程竣工、机能优化三阶攻坚竣工超出；基本才力维护需整合家当链需求，变成“需求荟萃—协同攻闭—量产使用”链条；家当链协同需破解“三不消”逆境，构修需求牵引的协同机制；轨制计划需平均长远政策与短期效益，扶植专项基金、首台套策略、人才特区等精准支柱体例。
① 身手跃迁顺序涌现为通过“弯道超车”实当代际超出，如光刻机双工件台研发是通过预判邦际身手门道竣工架构革新；
②才力修构顺序出现“基本打破—体例集成—生态重塑”的层级演进，基本质料、工艺、部件的体例性打破是身手自立的底层支柱；
③轨制适配顺序央求构修“长远进入—角逐择优—协同处理”轨制体例，邦度庞大专项的需求牵引机制为丰富身手攻闭供给了轨制范本。
① 身手攻闭专班化，依托邦度政策科技气力组修跨界限攻闭笼络体，打破精细担任、纳米丈量等共性身手群；
② 家当链协同生态化，扶植“需求荟萃—验证迭代—圭臬固化”革新闭环，通过大出产线验证机制加快工艺成熟；
③ 轨制提供精准化，完竣“专项基金+首台套策略+人才特区”策略组合，指导企业将更众的营收进入研发。
本文为后发邦度竣工身手赶超供给了“中邦范式”，其外面框架与履行途径对保险邦度家当安静、鞭策成立强邦维护具有紧急参考代价。
朱 煜清华大学呆滞系长聘教化。苛重磋商界限：超精细动力学体例与担任、纳米精度工程与测控身手、集成电道（IC）成立配备等。
朱煜. 自立革新驱动下的高端配备成立突围途径——以高端光刻机工件台研发与家当化为视角. 中邦科学院院刊, 2025, 40(5): 879-887.
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